[摘要]高純氣體在電子工業(yè)中起著至關(guān)重要的作用,因為這些氣體通常用于制造各種半導體設(shè)備和器件,如太陽能電池
高純氣體在電子工業(yè)中起著至關(guān)重要的作用,因為這些氣體通常用于制造各種半導體設(shè)備和器件,如太陽能電池、LED和集成電路等。在這些應(yīng)用中,高純氣體必須盡可能地避免引入任何雜質(zhì),否則將會對器件的性能和可靠性產(chǎn)生負面影響。
例如,高純度的氮氣和氬氣常常用于沉積和刻蝕工藝中,以確保制造出的芯片具有優(yōu)良的性能和長壽命。
例如,高純度的氮氣和氬氣常常用于沉積和刻蝕工藝中,以確保制造出的芯片具有優(yōu)良的性能和長壽命。